超高纯气体减压阀 - 正面视图
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半导体级气体控制

QX-HPR5000 超高纯气体减压阀

专为半导体、光纤制造等超净工艺设计的高精度气体压力控制设备,纯度可达 99.9999%

核心参数

最大进口压力

34.5 MPa (5000 PSI)

输出压力范围

0-10.3 MPa (0-1500 PSI)

流量系数 (Cv)

0.06 - 0.2

工作温度

-40°C 至 +65°C

主体材质

316L 不锈钢,电化学抛光

密封材质

PCTFE / 金属对金属

质保 2 年
全球配送
7×24 技术支持

技术规格详情

基本规格

型号
QX-HPR5000
类型
弹簧加载式隔膜减压阀
最大进口压力
34.5 MPa (5000 PSI)
输出压力范围
0-10.3 MPa (0-1500 PSI)
流量系数 (Cv)
0.06 - 0.2
工作温度
-40°C 至 +65°C
压力精度
±0.1% 满量程
压力稳定性
优于 0.05% 满量程

材质与表面处理

主体材质
316L 不锈钢
膜片材质
316L 不锈钢
密封材质
PCTFE / 金属对金属
弹簧材质
Inconel X-750
表面处理
电化学抛光,内表面粗糙度 Ra≤0.25μm
清洁等级
ASTM G93 Level A / CGA G-4.1
泄漏率
内部:1×10⁻⁹ sccs He;外部:1×10⁻⁹ sccs He

连接与安装

进口连接
1/4" 面密封 / VCR / 卡套
出口连接
1/4" 面密封 / VCR / 卡套
压力表接口
1/4" NPT 内螺纹
安装方式
面板安装 / 管道安装
安装尺寸
高 152mm × 宽 76mm × 深 76mm
重量
约 1.2 kg

选配功能

压力表
数字压力表 / 模拟压力表
压力传感器
4-20mA 输出 / RS485 通讯
过压保护
内置安全阀
远程控制
电动执行机构 / 气动执行机构
特殊气体兼容性
氧气、氢气、氯气等特殊气体专用型号
认证
ATEX / IECEx / CSA / CE / TSSA

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