专为半导体、光纤制造等超净工艺设计的高精度气体压力控制设备,纯度可达 99.9999%
最大进口压力
34.5 MPa (5000 PSI)
输出压力范围
0-10.3 MPa (0-1500 PSI)
流量系数 (Cv)
0.06 - 0.2
工作温度
-40°C 至 +65°C
主体材质
316L 不锈钢,电化学抛光
密封材质
PCTFE / 金属对金属
QX-HPR5000 超高纯气体减压阀采用弹簧加载式隔膜设计,通过精确平衡弹簧力与膜片两侧压力差来实现稳定的出口压力控制。
当出口压力低于设定值时,弹簧力推动膜片下移,阀门开启,高压气体流入出口;当出口压力达到设定值时,膜片上的压力与弹簧力平衡,阀门保持稳定开度;当出口压力超过设定值时,膜片上移,阀门关闭,防止出口压力继续升高。
该设计确保了在进口压力波动或流量变化的情况下,出口压力仍能保持高度稳定,满足半导体制造等对气体压力稳定性要求极高的工艺需求。
在半导体晶圆制造过程中,气体纯度和压力稳定性直接影响产品良率。QX-HPR5000 为光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺提供超高纯度和稳定压力的气体供应。
光纤预制棒制造和拉丝过程需要高纯度气体环境,QX-HPR5000 确保气体压力精确控制,提高光纤传输性能和生产一致性。
医药生产中的冻干、灭菌和包装环境需要高纯气体,QX-HPR5000 提供稳定可靠的气体压力控制,确保药品质量和安全。
LED外延生长过程中,前驱体气体的压力控制直接影响量子阱结构。QX-HPR5000 确保气体流量和压力精确可控,提高LED亮度和一致性。
半导体晶圆制造
中芯国际 14nm 工艺生产线需要超高纯度的气体供应系统,对气体压力稳定性和纯度有极高要求,特别是在刻蚀和薄膜沉积工艺中,压力波动会直接影响产品良率。
我们为中芯国际定制了 QX-HPR5000 系列减压阀,配备数字压力传感器和远程监控系统,实现了±0.05% 的压力控制精度和 99.9999% 的气体纯度保证。
光纤预制棒与光纤制造
长飞光纤在 PCVD 工艺中需要精确控制多种气体的压力和流量比例,包括一些腐蚀性气体,同时要求设备具有高可靠性和长寿命。
我们提供了特殊材质的 QX-HPR5000-C 系列减压阀,采用 Hastelloy C-276 材质的关键部件,配合专用的气体纯化器和监控系统。
医药制造
恒瑞医药的冻干注射剂生产线需要高纯氮气环境,要求气体系统符合 GMP 规范,同时具备完整的验证文档和追溯体系。
我们提供了符合 FDA 标准的 QX-HPR5000-P 系列减压阀,配套完整的材质证明、测试报告和验证方案,建立了全流程的气体质量控制体系。
中芯国际 设备工程师
"QX-HPR5000 减压阀在我们的 14nm 工艺生产线上运行已超过 18 个月,期间未出现任何故障,气体压力稳定性远超我们之前使用的设备,有效提高了我们的工艺稳定性和产品良率。"
长飞光纤 工艺总监
"我们在 PCVD 工艺中使用 QX-HPR5000-C 系列减压阀控制多种腐蚀性气体,其优异的材料兼容性和压力稳定性帮助我们生产出更低损耗的单模光纤,同时大幅降低了维护频率。"
获取产品手册、技术规格书、安装指南和维护手册等详细文档。
我们的工程师团队提供 7×24 小时技术支持,解答您的产品选型和使用问题。
提供专业的维修、校准和预防性维护服务,确保设备长期稳定运行。
选择减压阀时需要考虑以下因素: 1. 气体类型及纯度要求 2. 进口压力范围 3. 所需出口压力范围 4. 流量需求 5. 安装环境和温度条件 6. 特殊要求(如材质兼容性、认证等) 建议您联系我们的技术支持团队,提供详细的应用信息,我们将为您推荐最合适的型号。
QX-HPR5000 系列减压阀设计寿命超过 10 年,建议的维护周期如下: 1. 常规检查:每 6 个月 2. 密封件检查:每 2 年 3. 全面检修:每 5 年 对于特殊气体或苛刻环境,可能需要更频繁的维护。我们提供预防性维护计划,可根据您的具体应用定制维护方案。
确保减压阀气体纯度的关键措施: 1. 安装前进行适当的纯化处理 2. 使用高纯度管路连接系统 3. 按照我们的安装指南进行正确安装 4. 使用高纯度气体进行吹扫和置换 5. 定期检测气体纯度 我们的产品在出厂前经过严格的清洁和测试,确保符合超高纯气体应用的要求。
减压阀压力不稳定的常见原因: 1. 进口压力波动过大 2. 流量超出减压阀额定范围 3. 阀座或密封件磨损 4. 管路系统存在泄漏 5. 减压阀内部有污染物 6. 弹簧老化或损坏 如遇到压力不稳定问题,建议先检查进口压力和流量,然后联系我们的技术支持进行进一步诊断。
标准的 QX-HPR5000 适用于大多数惰性气体。对于腐蚀性气体,我们提供以下专用型号: 1. QX-HPR5000-C:适用于氯气、HCl 等氯化物 2. QX-HPR5000-F:适用于氟气、NF₃ 等氟化物 3. QX-HPR5000-S:适用于硫化氢、SO₂ 等含硫气体 这些专用型号采用特殊材质和表面处理,确保在腐蚀性环境中的长期可靠性。请在订购前咨询我们的技术团队,确保选择正确的型号。
高精度数字压力显示,±0.1% 精度,兼容各类气体
0.003μm 过滤精度,去除颗粒物、水分和油分
±0.5% 流量精度,数字显示,支持 RS485 通讯
集成减压、过滤、流量控制于一体的气体控制面板
我们的工程师团队可以根据您的具体需求,提供从产品选型到系统集成的一站式服务