超高纯气体减压阀应用场景

为半导体、光纤制造和其他高纯工艺提供精密气体压力控制解决方案

半导体制造光纤生产其他高纯工艺

高纯气体减压阀的关键应用领域

我们的超高纯气体减压阀系列产品广泛应用于对气体纯度和压力稳定性有极高要求的工业领域，为客户提供可靠、精准的气体压力控制解决方案。

半导体制造

在半导体制造工艺中，气体纯度和压力稳定性直接影响芯片良率。我们的超高纯气体减压阀确保关键工艺气体（如氮气、氢气、氦气等）的稳定供应，满足 14nm 及以下制程的严苛要求。

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光纤生产

光纤拉丝和涂覆过程需要精确控制氦气、氢气等保护气体的压力和纯度。我们的减压阀系统可实现 ±0.1% 的压力精度，确保光纤生产过程中的气体环境稳定性。

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其他高纯工艺

从医药制造到航空航天，我们的高纯气体减压阀广泛应用于各类对气体纯度有严格要求的工艺中，如质谱分析、LED 制造、太阳能电池生产等领域。

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半导体制造应用场景

在半导体制造过程中，气体纯度和压力的稳定性对芯片良率有着决定性影响。我们的超高纯气体减压阀专为满足半导体工艺的严苛要求而设计。

关键技术参数

气体纯度

99.9999% (6N)

压力控制精度

±0.1%

内表面粗糙度

Ra≤0.25μm

泄漏率

≤1×10⁻⁹ mbar·l/s

应用工艺

晶圆氧化/扩散工艺中的高纯氮气、氧气压力控制
刻蚀工艺中的氟化气体、氯化气体精确供应
化学气相沉积(CVD)中的硅烷、氨气等特种气体控制
离子注入工艺中的掺杂气体精确控制

客户案例：台积电 5nm 制程气体系统

为台积电 5nm 制程提供超高纯气体减压阀系统，实现了特种气体的精确控制，帮助客户提高芯片良率 15%，减少气体消耗 20%。

项目成果

15% 良率提升

20% 气体消耗降低

99.9% 系统可靠性

30% 维护成本降低

客户案例：长飞光纤高速光缆生产线

为长飞光纤高速光缆生产线提供完整的气体压力控制解决方案，实现了光纤拉丝过程中保护气体的精确控制，提高产品质量和生产效率。

客户反馈

QUORIX 的超高纯气体减压阀系统帮助我们解决了光纤拉丝过程中气体压力波动的问题，显著提高了产品的一致性和良率。

— 张明，长飞光纤生产技术总监

光纤生产应用场景

光纤制造过程中，气体环境的纯度和压力稳定性直接影响光纤的传输性能和机械强度。我们的减压阀系统为光纤拉丝和涂覆工艺提供精确的气体环境控制。

关键技术参数

气体纯度

99.9995% (5N5)

压力控制精度

±0.2%

流量范围

0-50 slpm

温度适应性

-10°C 至 +70°C

应用工艺

光纤预制棒制备过程中的气体环境控制
光纤拉丝过程中的惰性气体保护环境
光纤涂覆固化过程中的气体环境控制
特种光纤生产中的特殊气体环境控制

其他高纯工艺应用场景

分析仪器应用

在气相色谱、质谱分析等精密分析仪器中，载气和反应气的纯度和压力稳定性直接影响分析结果的准确性。我们的高纯气体减压阀为分析仪器提供稳定的气源，确保分析结果的可靠性。

关键技术参数

气体纯度

99.9999% (6N)

压力范围

0-10 bar

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LED 制造应用

LED 外延片生长过程需要精确控制氢气、氮气、氨气等特种气体的压力和纯度。我们的减压阀系统可以满足 MOCVD 设备的严格要求，确保 LED 芯片的一致性和性能。

关键技术参数

气体纯度

99.9995% (5N5)

压力稳定性

±0.5%

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医药制造应用

医药制造过程中，气体环境的纯度和压力稳定性对产品质量至关重要。我们的高纯气体减压阀广泛应用于冻干设备、无菌灌装线等医药生产设备中，确保生产环境符合 GMP 要求。

关键技术参数

气体纯度

医药级 (USP/EP)

表面处理

电解抛光

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客户成功案例

了解我们的超高纯气体减压阀如何帮助客户解决实际问题，提升生产效率和产品质量

中芯国际 28nm 工艺气体系统升级

为中芯国际 28nm 工艺生产线提供全套高纯气体减压阀系统，实现特种气体的精确控制，提高芯片良率和生产效率。

半导体制造查看案例

烽火通信高速光纤生产线气体系统

为烽火通信高速光纤生产线提供氦气、氢气减压控制系统，确保拉丝过程中气体环境的稳定性，提高产品质量。

光纤生产查看案例

恒瑞医药无菌制剂生产线气体系统

为恒瑞医药无菌制剂生产线提供医药级氮气、二氧化碳减压系统，确保生产环境符合 GMP 要求，提高产品质量。

医药制造查看案例

行业解决方案对比

了解不同行业应用场景下超高纯气体减压阀的技术参数和性能特点

技术参数	半导体制造	光纤生产	医药制造	分析仪器
气体纯度	99.9999% (6N)	99.9995% (5N5)	医药级 (USP/EP)	99.9999% (6N)
压力控制精度	±0.1%	±0.2%	±0.5%	±0.2%
内表面处理	电化抛光 Ra≤0.25μm	电化抛光 Ra≤0.4μm	电化抛光 Ra≤0.8μm	电化抛光 Ra≤0.4μm
泄漏率	≤1×10⁻⁹ mbar·l/s	≤1×10⁻⁸ mbar·l/s	≤1×10⁻⁷ mbar·l/s	≤1×10⁻⁸ mbar·l/s
材质	316L 不锈钢	316L 不锈钢	316L 不锈钢	316L 不锈钢
适用气体	N₂, H₂, O₂, Ar, He, SiH₄, NH₃等	N₂, H₂, He, Ar等	N₂, O₂, CO₂, Ar等	He, H₂, N₂, Ar等
认证标准	SEMI F-1, ASTM G93	ASTM G93	USP, EP, FDA	ASTM G93

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